美国雷科(LACO)微通道型标准漏孔介绍

关键词：标准漏、标准漏孔、标准泄漏孔、校准漏孔、外置漏孔、内置漏孔、冷媒漏孔、氦气标准漏孔、氢气标准漏孔、空气标准漏孔、SF6标准漏孔、带气室标准漏孔、开放式标准漏孔、NIST、 A2LA、通道、微通道。

快盈v8是专注气体泄漏定量分析在行业应用与推广的厂家，我们与漏孔全世界行业领军者-美国雷科公司（LACO Technology）合作，得益于LACO业界先进的微毛细通道技术，提供业界齐全，性能先进的气体标准漏产品：

覆盖各个漏率：E-1~E-10mbar.L/s

业界先进：

l  可指定精确漏率（如1.30x10-9mbar.L/s，根据客户需求可精确到百分位)

l  或同时指定压力和漏率（如20Mpa下 1.00x10-5mbar.L/s）

l  各种气体|各种漏率|各种接口|有源（带气室）|无源（开放式）|工业集成|仪器校准|漏率模拟|流量控制

l  所有标准漏产品出厂均提供全球高等级之美国计量局可跟踪证书NIST Traceable A2LA Certificate）

业界先进的微毛细通道技术

标准漏孔是检验氦质谱检漏仪、氦检系统准确与否的唯一标准。睿米是标准漏孔业界先进-美国雷科公司（LACO Technologies）在中国的代表处，每一个标准漏孔都提供美国NIST国际证书，并符合ISO/IEC17025标准,可以作为第三方校准的标准源。

LACO标准漏孔采用独特的微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技术，是漏孔制作工艺的重大突破，对比传统的石英渗透膜或特富龙渗透膜技术，以及传统的玻璃拉丝，金属压扁等通道型技术都是质的飞跃，克服了传统通道型和渗透膜制作工艺的缺陷，同时综合了二者的优点。

LACO微通道漏孔具有以下优点：

ü  全量程支持，支持E-1到E-10mbar.L/sec；玻璃拉丝或金属压扁等通道型工艺一般只能稳定支持>E-6大漏率，而渗透膜一般只支持<E-7漏率

ü  真空响应快，这是通道型漏孔优点而玻璃或特富龙渗透膜工艺缺乏的.

ü  √温度补偿系数仅为0.1%/℃，可忽略温度补偿；传统的玻璃渗透膜工艺温度补偿高达3~4%/℃，温度变化10℃，漏率偏差高达40以上。

ü  稳定性非常好，这是金属压扁或玻璃拉丝工艺通道型漏孔所缺乏的（作为标准漏孔，稳定性不好是非常致命的，或者说不应该的）。

ü  抗震、抗摔。玻璃或特富龙渗透膜，以及玻璃拉丝工艺致命缺陷，很容易破碎导致不可用和使用寿命短。

ü  防堵塞性能良好，克服传统通道工艺容易堵塞的致命弱点，提高了稳定性和使用寿命

ü  大压力支持，MTC工艺支持>40Mpa压力漏孔制作，优于其他工艺数倍到数十倍。意味着更小的衰减，更稳定的漏率，数倍的使用寿命；

ü  支持同时指定压力、指定漏率制作漏孔，如35Mpa下漏率为1x10-5mbar.L/sec，模拟实际的测试工件。

微通道MTC（Micro-Tube Capillary）技术，请参见：http://aidsnutrition.org/product/400.html

支持气体种类

*用户可指定混合比例：如He:空气=50:50，H2:N2=5:95*

*如您需要的气体未在上述列出，请与我们联系*

多种接口支持

*如您需要的接头未在上述列出，请与我们联系定制*

有源标准漏孔（带气室）和无源（开放式open style）标准漏孔

按照是否自带气源，标准漏孔可以分为有源标准漏孔（自带气室）和无源漏孔（需要连接外部气源）。

有源标准漏孔（带气室）

睿米有源标准漏孔气室根据漏率要求，可以选用不同规格气室如115cc，150cc，300cc，1000cc等，也可以定制其他规格的气室。

图：有源标准漏孔（自带气瓶Gas Reservior),也称标准气瓶等

无源标准漏孔（外接气源）

图：无源标准漏孔,也称开放式标准漏孔(open style)等

标准漏孔应用场景：

标准漏孔的用途主要是仪器校准，包括氦气检漏仪，氢气检漏仪，氢气检漏仪，SF6检漏仪，冷媒检漏仪，空气检漏仪，残余气体分析仪等。另一个重要的用途是生产线上面的检漏系统校准等。

氦质谱检漏仪内部标准漏孔（Internal Leak）

支持但不限于的氦质谱检漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普发）, Oerlikon-Leybold（莱宝）, Agilent/Varian（安捷伦/瓦里安）, Shimadzu（岛津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（爱发科）, KYKY（中科科仪）, Veeco/VIC, LACO（雷科）

一般以10-7mbar.l/s量程为主，可以根据客户定制提供不同漏率漏孔。内置漏孔采用钢制非破碎型微毛细管技术，具有使用寿命长、防摔防震等特点，低成本漏孔。提供美国计量局NIST证书。

检漏仪是一把测量尺，而标准漏孔是标准尺。测量是否准确，需要标准漏孔这把标准尺来度量。而NIST标准相当于全球高等级的具有权威性的尺子，如果检漏仪能符合要求NIST漏孔的要求，则意味着这台检漏仪的准确性是全球高等级的。

                    INFICON  LDS3000              LACO T100                     ASM142/310/340内置漏孔

外部标准漏孔校准（External Leak）

检漏仪的外部校准是非常重要的。考虑到各个厂家对自己利益的保护，目前对标准漏孔存在比较大的两个误区：

第一个误区：多个检漏仪厂家特别是国外厂家说只能用自己的漏孔，包括外置与内置，这是一个典型性的谬误说法。因为氦质谱检漏仪准不准，应符合标准漏孔。而标准漏孔准不准，是国家标准规定的检测机构如NIST就是美国标准局认定，而不是厂家。

第二个误区就是检漏仪内置漏孔检测通过，检漏仪就没有问题。这也是一个认识的误区（我们在视频中看到一台阿尔卡特检漏仪自检通过但误差10倍的情况）。实际上每一台检漏仪要做到宽量程都精确是非常困难的。

氦质谱检漏仪的工作原理是对离子源电离的氦气分子数量进行量化，而到达质谱室离子源的氦气分子数量只是泄漏的分子总量的一部分，这就是分流比,。在环境参数变化时，这个分流比会有变化，检漏仪根据内置漏孔1个点做出的拟合曲线很难做到符合全量程：例如一台检漏仪的内置漏孔是E-7mbarL/s，说明这台检漏仪在接近E-7mbarL/s的漏率区间如[E-6, E-8]是可能准确的，可能到E-9就很不准确。

建议用2个标准漏孔对氦质谱检漏仪进行标定。事实上，包括很多主流检漏仪厂家最初都是不提供内置漏孔自检的，而是用户购置接近自己工件要求漏率的标准漏孔进行标定。如待测工件合格漏率要求为2.50x10^-8mbar.L/s, 最好是购置一个接近该漏率的标准漏孔如3.00x10^-8 mbar.L/s，经过校准的检漏仪不需要自检通过也能准确的判断产品是否合格。

建议用户在选购外置标准漏孔，尽量接近产品合格要求漏率，睿米可以提供从E-2到E-12mbarL/s的标准漏孔。用户可选用带气室的标准漏孔或开放式漏孔。

 残余气体分析仪校准

检漏系统校准

这是标准漏孔应用的一个重要方向，随着对产品质量要求越来越高，很多产品都必须进行检漏测试。而待测工件的测试基于一个整体的泄漏检测系统，如将一个汽车管路部件充氦放入一个大检测腔体，再连接到检漏仪；在这种情况下，待测工件泄漏只有其中一部分进入检漏仪，因此必须用标准漏孔来对比检测工件是否合格。

检漏仪吸枪校准：包括氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪等 

吸枪法（嗅探法）校准是非常重要的。在氦质谱检漏仪吸枪法校准中，用空气做校准是不行的，即使空气中氦气含量为5ppm（5x10^-6）左右，显示漏率还取决于吸枪泵速。如吸枪泵速为1cm³/s，空气压力为1000mbar，我们转化为氦气漏率为mbarL/s=（10-3L*1000x5x10^-6）=5E-6mbar.L/s。如果吸枪泵速变为2cm³/s时，漏率应该为2*5E-6mbar.L/s= 1E-5mbar.L/s.

因此必须用外置标准漏孔对吸枪进行校准。

LACO（雷科）吸枪标准漏孔氦质谱检漏仪支持所有的氦质谱检漏仪，支持但不限于的氦质谱检漏品牌包括：Pfeiffer/Adixen（普发）, Oerlikon-Leybold（莱宝）, Agilent/Varian（安捷伦/瓦里安）, Shimadzu（岛津）, INFICON（英孚康）, ULVAC（爱发科）, KYKY（中科科仪）, Veeco/VIC, LACO（雷科）。

冷媒卤素标准漏孔一般在E-4或E-5mbarL/s.对高精度卤素检漏仪如Q200，用户可以定制地漏率漏孔，如10^-7mbarL/s SF6或氟利昂漏孔。

双气室标准漏孔用于冷媒/卤素检漏仪吸枪校准，如SF6，氟利昂等。其中主气室以液态存储，通过增、减压阀调节压力。用户可指定多个漏率点。 

气密性（空气）检漏仪校准

流量控制