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美国雷科(LACO)高性能氦/氢质谱检漏仪
从便携式到移动式大型检漏一体化解决方案
LACO Titan™ T100,是美国雷科公司在真空、检漏等相关领域的50年丰富经验基础上,研制、开发、推出的一款高性能氦/氢质谱检漏仪,提供业界测试高精度及一致性,满足客户生产、科研及各种应用场景和苛刻的需求!
特点(Features):
◆内置带NIST可跟踪证书的标准漏孔,T100提供业界先进的全量程测量的精确性与一致性。
T100 | 便携式,45kg,内置6m3/h前级油泵 |
T00 Dry | 便携式,35kg,内置前级1.2m3/h涡旋干泵(极限真空度:1pa),适合洁净生产环境之需求 |
T100 Modul | 28kg主机,无内置前级泵,可灵活选用干式或湿式粗抽泵及移动推车,即可搭建不同抽速之中、大型检漏仪或检漏系统,满足各种检漏之环境。 |
*T100/T100 Dry亦可如T100 Modul扩展* |
便携式检漏仪T100(油式) 移动式检漏仪T100 Modul
或T100D (干式) (选配不同规格干、湿泵,搭建大中型检漏仪)
配套设备-T100氦质谱检漏仪检漏方案一揽子解决方案
技术规格(Technical Specification):
便携式T100 | 便携式T100 Dry | 移动式T100 Modul | ||
可检测气体 | 4He, 3He, H2 | |||
最小可检测漏率 | 真空法 | 4He: <5x10-13pa.m3/s(5x10-12mbar.L/s) 3He: <5x10-11pa.m3/s(5x10-10mbar.L/s) H2: <5x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s) | ||
吸枪法 | 4He, 3He, H2: >5x10-9pa.m3/s(5x10-8mbar.L/s) 独立吸枪接口(不占用真空口) | |||
检测模式 | Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检) | |||
检测方法 | 真空(Vacuum),吸枪(Sniff),自动检测(Auto) | |||
入口法兰 | KF25 | |||
最大入口压力 | 25hpa | |||
分子泵抽速 | 2.5l/s (SplitFlow 80) | |||
前级泵抽速 | 6m3/h | 1.2m3/h涡旋泵(1pa) | 选配 | |
响应时间 | 真空(63% signal):0.3s 吸枪(3m):<1s | |||
启动时间 | ≤3min | |||
采样频率 | 20Hz | |||
接口 | RS232 or RS485, Analog Output, Discrete I/O;功能强大的软件操作,可实现半自动或全自动的操作,支持IP网络控制 | |||
工作温度 | 10℃ ~ 35℃ | |||
工作电压 | 115/230 VAC, 50/60 Hz | |||
重量 | 45kg | 35kg | 主机:28kg 推车:32kg +真空泵 | |
功耗 | 400W | 350W | 250W(主机) | |
尺寸LxWxH(mm) | 554 x 422 x 292 | 726 x437 x1010 推车+主机 |
应用领域(Application Scenarios):
◆科学研究: Electron microscopy – 电子显微镜 Mass spectrometry – 质谱 Surface analysis – 表面分析 Plasma monitoring – 等离子体监测 Residual gas analysis – 残余气体分析 ... ◆半导体 Lithography锂电池 PVD /CVD Plasma etching等离子刻蚀 MBE 分子束外延 … ◆镀膜 Hard disk coating – 硬盘镀膜 Photovoltaics – 光伏 Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜 Optical coating (PVD) – 光学镀膜 Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层 Web coating – 卷绕镀膜 … | ◆工业 Medical technology – 医学技术 Industrial leak detection – 工业检漏 Electron beam welding – 电子束焊接 Lamp /tube manufacturing – 灯管制造 Automobile –汽车制造 Aerospace-航天航空 … ◆科学研究 Nuclear research – 核研究 Fusion technology – 聚变技术 Plasma research – 等离子研究 Nanotechnology – 纳米技术 Biotechnology – 生物技术 …
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订货号(Order Info):
项目 | 描述 | 订货号 |
uT100检漏仪 | ||
T100便携式检漏仪,油式 | 内置6m3/h旋片泵,45kg, 110/220VAC,单相 | TITAN100W |
T100 Dry便携式检漏仪,干式 | 内置1.2m3/h涡旋泵,35kg, 110/220VAC | TITAN100D |
T100 Modul主机 | 28kg,110/220VAC,需配置移动推车、外置真空 | TITAN100M |
uT100 Modul选用配件 | ||
移动推车 | 带电源模块,110/220VAC,30kg | T100MC10P |
双级旋片真空泵,带推车安装套件 | 14.4m3/h,25kg, 110/220VAC,单相 | RVPSD240S |
双级旋片真空泵,带推车安装套件 | 21.6m3/h, 32kg, 110/220VAC, 单相 | RVPSD360S |
双级旋片真空泵,带推车安装套件 | 36m3/h, 33kg, 110/220VAC,单相 | RVPSD600S |
无油涡旋真空泵,带推车安装套件 | 15m3/h, 35kg, 110/220VAC,单相 | DSPISP250 |
无油涡旋真空泵,带推车安装套件 | 30m3/h, 44kg, 110/220VAC,单相 | DSPISP500 |
u常用配件 | ||
Bypass阀组件 | 气动阀,External Pump Valve Kits | T102587-PC |
Bypass阀组件 | 电磁阀,External Pump Valve Kits | T102587-EC |
通信模块 | TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50 |
通信模块(加打印) | TitanTest™ Communication Module with Data Logging / Ethernet | TCM50-PT |
二维码扫描枪 | Barcode Reader for TitanTest™ Communication Module | TCM-BC |
WIFI发射模块 | WiFi Adapter for TitanTest™ Communication Module | TCM-WIFI |
有线控制模块 | Wired Remote Control RC 800, 13 ft (4 m) Cable Included | TR100 |
无线控制模块 | Wireless Remote Control RC 800 WL, Up to 330 ft (100 m) | TR101 |
3m吸枪 | Sniffer Probe - 10 ft (3 m) | LSP-01N-10 |
10m吸枪 | Sniffer Probe - 33 ft (10 m) | LSP-01N-33 |
3m增强吸枪(清零+显示) | Enhanced Sniffer Probe - 10 ft (3 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2003 |
10m增强吸枪(清零+显示 | Enhanced Sniffer Probe - 33 ft (10 m), Pass/Fail + Zero Function, Rigid Tip | T2010 |
喷枪(带620cc气瓶+减压阀) | Helium Spray Probe - 10 ft (3 m) Poly tube with Regulator and 620cc Reservoir | LHSP07 |
入口滤芯 | Inline NW25 Filter Housing with 40 Micron Sintered Bronze Element | LVF-E-NW25-40-10 |
内置校准漏孔 | Internal Helium Leak Standard for TitanTest™, Low 10-7 mbarL/sec | CM102492 |
外置校准漏孔-7 | External Helium Leak Standard, Low 10-7 mbarL/s NW25, Manual Valve | CM51L-71111V0/4 |
外置吸枪漏孔-4 | Sniffer Helium Leak Standard, 5 x 10-4 mbarL/sec, Pressure Gauge, Refill Valve | CM515.0-4102DAG/4 |