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对美国雷科T100氦质谱检漏仪,用7个标准漏孔检测其精确性,以及宽量程一致性。
7个氦气外置标准漏孔,漏率覆盖E-5,6,7,8,9,10共6个量级,每个漏孔都带美国NIST证书(美国质量与技术局可跟踪证书,全球高等级)
这对于检漏仪和漏孔来说,都是一个比较大的考验。
如每个标准漏孔标定值都与检漏仪读数值接近,则可以相互验证各自的精确性与一致性。
测试结果:
编号 | 漏孔标定漏率 (mbar.L/s) | 修正后漏率 (mbar.L/s) | 检漏仪读数(mbar.L/s) | 偏差 |
1. | 2.86E-10 | 2.80E-10 | 2.8E-10 | <0.1 |
2. | 2.25E-9 | 2.25E-9 | 2.7E-9 | <0.6 |
3. | 3.00E-8 | 3.00E-8 | 3.10E-8 | <0.1 |
4. | 1.96E-6 | 1.96E-6 | 2.1E-6 | <0.1 |
5. | 6.02E-6 | 6.02E-6 | 6.4E-6 | <0.4 |
6. | 1.25E-5 | 1.25E-5 | 1.3E-5 | <0.1 |
7. | 4.74E-5 | 4.74E-5 | 4.8E-5 | <0.1 |
测试结果表明,雷科的T100氦质谱检漏仪以及7个标准漏孔相互印证,代表了在业界的高水准。